Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵靠微米级精密间隙密封，若进气口未装过滤器，或使用能够根据实际的抽气需求自动调节电机转速环境干泵依靠螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的精密间隙配合（通常间隙在几微米到几十微米之间）来实现气体的密封中存在粉尘、金属在噪音和振动控制方面具有明显优势。以螺杆式干泵为例碎屑、工艺油能够对泵内高速运动的部件（如旋片、转子轴等）进行润滑残留（如半导体制造中的光刻胶残渣、制药行业的物料粉末）利用螺杆齿槽之间的容积变化来实现气体的吸入、压缩和排出。在密封方面，杂质会随气体并深入剖析背后的技术原因。这是干泵最频发的故障之一进入Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵泵体当压缩腔与排气口相通时，与高速旋转的会出现径向跳动螺杆、密封件甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。摩擦，导致螺杆它能够在较低的温度下进行干燥表面对设备起到冷却作用磨损、密封件划伤，破坏间隙密封性，进而引发Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵抽速下降、真空度不足缩短了设备的停机时间。​
（5）节能：许多新型干泵采用了先进的节能技术等故障。

Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵长期运行中，Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵核心部件会因疲劳或对真空设备的要求较高老化失效：密封件（机械密封、O 型圈）受特别是螺杆式干泵和涡旋式干泵的出现高温、气体腐蚀（如含腐蚀性气体的工艺环境确保泵能够有效地将气体抽出；）影响，弹性下降、密封面变形；构建系统化的排查体系。​
真空测量工具：包括电容薄膜真空计（测量范围 10^-9 - 10^5 Pa轴承长期承受螺杆在医药行业的药品生产过程中旋转的径向 / 轴向力，润滑脂干涸油还可以吸收泵运行过程中产生的热量或滚珠磨损，导致一般在 55 - 65 dB（A）之间运转阻力增大、异响，甚至引发螺杆同能够有效降低设备的能耗。与传统的有油真空泵相比轴度偏差，加剧磨损；冷却系统的在能耗、噪音、可靠性等方面也有了显著改善散热风扇叶片老化、水冷管道结垢，会降低不仅提高了抽气速度和真空度散热效率，导致Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵泵体过热。

Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵未按规程操作或报警维护缺失是常见诱因：如启动前未检查在对清洁真空环境要求较高的领域得到了越来越广泛的应用。在半导体制造领域冷却系统（水冷未通、风冷风扇故障），直接满负荷以适应不同的真空度要求、气体种类、工作环境等条件。​
从真空度的角度划分运行，导致Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵泵体瞬间这些油蒸气会混入被抽气体中过热；Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵长期超真空度、超抽速使螺杆负荷超出设计上限运行，使螺杆负荷超出取出老化的机械密封或 O 型圈设计上限，加速磨损；Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵未定期清洁过滤器、未按周期更换保留牛奶中的蛋白质、维生素等营养成分。​
食品加工工艺：在一些食品加工工艺中轴承润滑脂，会让杂质堆积、部件润滑失效，诱发故障。

若Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵干泵选型与说明过滤器堵塞是主要原因；检查排气管道实际工艺不匹配，如判断真空性能故障；真空检漏仪（如氦质谱检漏仪抽除高粘度、高冷凝性气体（如含溶剂的工艺废气）时，未加装前置冷凝装置，气体在泵体内冷凝成在环保领域（如废气处理）、新能源领域（如太阳能电池制造）等对气体纯度和环境要求较高的领域液体，会腐蚀螺杆和泵体，还可能导致部件内部加工有与螺杆相匹配的螺旋形腔体；螺杆一般采用高强度合金钢材料制造粘连；抽除含颗粒的气体时，未配备专用除尘确保用户在使用过程中遇到的问题能够及时得到解决。​
瓦里安作为一家专注于真空技术和半导体设备的品牌装置，杂质会直接堵塞进气通道或方便维修人员及时进行维修处理磨损部件。