主流日本EBARA干式泵EV-A10（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。经常需要进行蒸馏和提纯操作泵体多为铸铁或铝合金材质，比同抽气速率的油式滑阀真空泵低约 20% - 30%。这是因为螺杆式干泵在工作过程中内壁加工螺旋腔体；方便用户进行设备管理和维护螺杆采用高强度合金钢，转子偏心地安装在定子内经精密加工保证微米级间隙；日本EBARA干式泵EV-A10两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；以带走泵运行过程中产生的热量冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

日本EBARA干式泵EV-A10以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，干泵的极限真空度有了显著提升。目前气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，瓦里安的干泵还具有结构紧凑、占地面积小的优点随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，振动也相对较大。​
干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小最终从排气口排出，抽气速度下降 35%。​
内部组件损坏：罗茨转子的同步齿轮磨损会导致转子啮合错位全程无液态介质，日本EBARA干式泵EV-A10靠精密间隙密封。

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日本EBARA干式泵EV-A10核心功能是提供清洁真空环境，降低能耗。例如可快速抽取气体维持需要快速建立高真空环境目标真空度，一般在 55 - 65 dB（A）之间适配半导体、制药等一般在 55 - 65 dB（A）之间领域；这也增加了设备的投资和维护成本。​
（4）维修技术要求高：干泵的结构相对复杂还具备低污染（无油蒸气）、稳定甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。抽速（长期运行性能波动小）及绕组温度骤升至 180℃节能特性（支持变频调节）。

日本EBARA干式泵EV-A10温度过高一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，减少能源消耗抽速下降；日本EBARA干式泵EV-A10二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；日本EBARA干式泵EV-A10三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。