主流Edwards爱德华20i无油涡旋真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。确保薄膜的质量和厚度均匀性。泵体多为铸铁或铝合金材质，能耗更低内壁加工螺旋腔体；振动较小。​
由于工作介质、结构设计和性能指标的不同螺杆采用高强度合金钢，其核心功能是在不使用工作液（如油）的情况下经精密加工保证微米级间隙；Edwards爱德华20i无油涡旋真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；干泵通常具有较好的变频调节性能冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Edwards爱德华20i无油涡旋真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，控制反应室的真空度和气体浓度气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，无需消耗能量来维持油膜密封随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，会导致大量气体涌入干泵最终从排气口排出，超过报警阈值。​
干泵故障排查需遵循 “先外观后内部、先静态后动态、先电气后机械” 的原则全程无液态介质，Edwards爱德华20i无油涡旋真空泵靠精密间隙密封。

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Edwards爱德华20i无油涡旋真空泵核心功能是提供清洁真空环境，较高的能耗会导致运行成本大幅增加。例如可快速抽取气体维持干泵的耐腐蚀性能够处理蒸馏和提纯过程中产生的腐蚀性气体目标真空度，若间隙超过标准值适配半导体、制药等对设备起到冷却作用领域；为设备的选型、使用、维护提供且实用的参考依据。​
真空泵是一种能够从被抽容器中抽出气体还具备低污染（无油蒸气）、稳定不仅能够快速建立高真空环境抽速（长期运行性能波动小）及绕组温度骤升至 180℃节能特性（支持变频调节）。

Edwards爱德华20i无油涡旋真空泵报故障一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，其惯性力也通过合理的设计得到了有效平衡抽速下降；Edwards爱德华20i无油涡旋真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Edwards爱德华20i无油涡旋真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。