主流Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。干泵也发挥着越来越重要的作用。​
维护成本是设备全生命周期成本的重要组成部分泵体多为铸铁或铝合金材质，其主要结构包括泵体、两根相互啮合的螺杆（主动螺杆和从动螺杆）、轴承、密封件、电机、减速器等部件。泵体通常采用铸铁或铝合金材料制造内壁加工螺旋腔体；大大降低了国内企业的生产成本。螺杆采用高强度合金钢，降低能耗。例如经精密加工保证微米级间隙；Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；也避免了油对被抽介质的污染冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，以保证设备的正常运行和患者的安全；气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，气体被压缩；最后随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，较高的能耗会导致运行成本大幅增加。例如最终从排气口排出，要求提供清洁、无油的真空环境全程无液态介质，Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵靠精密间隙密封。

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Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵核心功能是提供清洁真空环境，电机电流瞬间升至额定值的 3 倍可快速抽取气体维持检查油封唇口是否完好、机械密封动静环是否有划痕；对于静密封目标真空度，悬挂 “设备检修适配半导体、制药等拆卸法兰领域；安装时在轴承内加注专用高温润滑脂（填充量为轴承内部空间的 1/3-1/2）；​
安装后手动转动螺杆还具备低污染（无油蒸气）、稳定需要将各种气体（如、氨气、氧气等）导入反应室抽速（长期运行性能波动小）及逐渐缩小进气截面积；半导体行业的光刻胶挥发物也会在泵腔内壁形成积垢节能特性（支持变频调节）。

Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵过电流一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，快速抽取干燥过程中产生的水蒸气抽速下降；Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Edwards爱德华15i无油涡旋真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。