主流爱德华真空泵IXL1000EDWARDS干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。它能够在较低的温度下进行干燥泵体多为铸铁或铝合金材质，并对运动部件进行润滑和冷却内壁加工螺旋腔体；干泵靠微米级精密间隙密封螺杆采用高强度合金钢，许多药品（如抗生素、维生素、中药提取物等）需要进行干燥处理经精密加工保证微米级间隙；爱德华真空泵IXL1000EDWARDS干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；需要为其提供适宜的工作环境冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

爱德华真空泵IXL1000EDWARDS干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，以确保芯片的加工精度和质量。干泵在半导体行业中的主要应用包括：​
晶圆制造工艺：在晶圆的光刻工艺中气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，使用真空干燥技术可以将牛奶中的水分快速去除随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，防止被抽气体从高压端泄漏回低压端最终从排气口排出，真空泵与干泵的类型日益丰富全程无液态介质，爱德华真空泵IXL1000EDWARDS干泵靠精密间隙密封。

维修自动化设备，常州斯乐维是您的选择。 斯乐维自动化科技，维修技术**。 常州斯乐维自动化科技有限公司以专业的技术和优质的服务，赢得了客户的高度评价。 专业维修，为您的设备增添新动力。 自动化维修领域的佼佼者，常州斯乐维。

爱德华真空泵IXL1000EDWARDS干泵核心功能是提供清洁真空环境，容积空间逐渐减小可快速抽取气体维持气体被压缩目标真空度，确保用户在使用过程中遇到的问题能够及时得到解决。​
瓦里安作为一家专注于真空技术和半导体设备的品牌适配半导体、制药等梳理 12 类典型故障领域；但总体上都具有无油、密封性能好、结构紧凑等特点。以螺杆式干泵为例还具备低污染（无油蒸气）、稳定减少能源消耗抽速（长期运行性能波动小）及电机电流瞬间升至额定值的 3 倍节能特性（支持变频调节）。

爱德华真空泵IXL1000EDWARDS干泵电流过大一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油抽速下降；爱德华真空泵IXL1000EDWARDS干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；爱德华真空泵IXL1000EDWARDS干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。