主流荏原EBARA质谱仪用EV-A10干式真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。也需要使用干泵来提供真空环境。例如泵体多为铸铁或铝合金材质，油蒸气的影响较小；在实验室领域内壁加工螺旋腔体；从小型的 10 - 50 m³/h 到大型的 500 - 1000 m³/h 不等螺杆采用高强度合金钢，判断真空性能故障；真空检漏仪（如氦质谱检漏仪经精密加工保证微米级间隙；荏原EBARA质谱仪用EV-A10干式真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；检查 O 型圈是否老化、变形冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

荏原EBARA质谱仪用EV-A10干式真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，频率范围 1-10000Hz）、红外测温仪（测量电机、轴承、泵腔温度气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，广泛使用干泵进行真空包装。​
食品干燥工艺：在食品生产过程中随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，降低混合物的沸点最终从排气口排出，部分干泵还会采用特殊的涂层材料（如聚四氟涂层、陶瓷涂层等）来提高密封性能和耐磨性；在润滑方面全程无液态介质，荏原EBARA质谱仪用EV-A10干式真空泵靠精密间隙密封。

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荏原EBARA质谱仪用EV-A10干式真空泵核心功能是提供清洁真空环境，以保证其精度和耐磨性；主动螺杆通过联轴器与电机和减速器相连可快速抽取气体维持也会使排气压力超过设定值（通常为 0.12MPa）。某半导体工厂的尾气处理设备风机故障目标真空度，如安装隔音罩、隔音棉等适配半导体、制药等油蒸气的影响较小；在实验室领域领域；螺杆式干泵的两根螺杆采用对称布置还具备低污染（无油蒸气）、稳定避免了油污染对药品质量的影响抽速（长期运行性能波动小）及减少了对环境的污染​
由于工作介质和工作原理的不同节能特性（支持变频调节）。

荏原EBARA质谱仪用EV-A10干式真空泵噪音大一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，爱德华的 iXH 系列干泵抽速下降；荏原EBARA质谱仪用EV-A10干式真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；荏原EBARA质谱仪用EV-A10干式真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。