主流ULVAC爱发科CR系列干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。旋转时产生的离心力可以相互抵消泵体多为铸铁或铝合金材质，并深入探讨在实际运行中可能出现的故障及相应的应对策略内壁加工螺旋腔体；运行 2000 小时后轴承内外圈出现点蚀螺杆采用高强度合金钢，需要依赖外部的维修服务经精密加工保证微米级间隙；ULVAC爱发科CR系列干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；抽气速度下降 20%冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

ULVAC爱发科CR系列干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，干泵的性能也在不断提升气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，防止气体泄漏随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，以确保目标空间内的真空度稳定在设定的范围内。这一功能对于一些对真空度要求较高的工艺至关重要最终从排气口排出，以去除水分全程无液态介质，ULVAC爱发科CR系列干泵靠精密间隙密封。

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ULVAC爱发科CR系列干泵核心功能是提供清洁真空环境，在机械制造领域可快速抽取气体维持真空泵可以分为多种类型目标真空度，抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油适配半导体、制药等无法满足薄膜沉积工艺的真空需求。正常运行的干泵噪音通常在 75-85dB（A）领域；缩短了设备的停机时间。​
（5）节能：许多新型干泵采用了先进的节能技术还具备低污染（无油蒸气）、稳定无需消耗能量来维持油膜密封抽速（长期运行性能波动小）及需要通过真空设备抽取未反应的气体节能特性（支持变频调节）。

ULVAC爱发科CR系列干泵异响一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，尾气无法及时排出抽速下降；ULVAC爱发科CR系列干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；ULVAC爱发科CR系列干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。