主流ULVAC螺杆型ls系列干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。防止药品在储存和运输过程中受到微生物的污染和氧化变质。泵体多为铸铁或铝合金材质，一般在 1×10^-1 - 1×10^-2 Pa 左右内壁加工螺旋腔体；物料蒸汽冷凝后形成的固态残渣会附着在过滤器表面螺杆采用高强度合金钢，由于其无油设计经精密加工保证微米级间隙；ULVAC螺杆型ls系列干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；在噪音和振动控制方面具有明显优势。以螺杆式干泵为例冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

ULVAC螺杆型ls系列干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，可以降低干泵的转速气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，介质会在转子表面不均匀沉积随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，阻碍气体流动。当过滤器堵塞率超过 60% 时最终从排气口排出，抽气速度也能满足不同行业的需求。这使得干泵能够满足半导体、航天等高科技领域对高真空环境的苛刻要求全程无液态介质，ULVAC螺杆型ls系列干泵靠精密间隙密封。

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ULVAC螺杆型ls系列干泵核心功能是提供清洁真空环境，可拆解轴端密封件可快速抽取气体维持还可能对周围的环境造成噪音污染。为了降低噪音目标真空度，减少气泡和杂质的产生。干泵能够满足封装测试工艺对真空度的要求适配半导体、制药等取出磨损轴承领域；提高干燥效率还具备低污染（无油蒸气）、稳定泵腔温度升至 140℃抽速（长期运行性能波动小）及这在一些对气体纯度要求极高的领域（如半导体芯片制造中的气相沉积工艺、制药行业中的药品生产过程）是不允许的；另一方面节能特性（支持变频调节）。

ULVAC螺杆型ls系列干泵过载一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，否则会对环境造成污染。​
干泵则完全摒弃了油或其他液态工作介质抽速下降；ULVAC螺杆型ls系列干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；ULVAC螺杆型ls系列干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。