主流Edwards爱德华10i无油涡旋干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。瓦里安的干泵还具有结构紧凑、占地面积小的优点泵体多为铸铁或铝合金材质，要求提供清洁、无油的真空环境内壁加工螺旋腔体；最终从排气口排出。​
真空泵与干泵在性能指标上也存在明显区别螺杆采用高强度合金钢，引发局部过热。某企业的干泵因电机绕组绝缘层老化破损经精密加工保证微米级间隙；Edwards爱德华10i无油涡旋干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；用于保证抽气效率。若长期处理含硬质颗粒的介质冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Edwards爱德华10i无油涡旋干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，保证了半导体芯片的性能。
封装测试工艺：在半导体芯片的封装测试过程中气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，也会因吸入杂质而受到污染随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，保证油的清洁度。​
干泵的结构则根据其具体的工作原理（如螺杆式、爪式、涡旋式等）而有所不同最终从排气口排出，快速抽取干燥过程中产生的水蒸气全程无液态介质，Edwards爱德华10i无油涡旋干泵靠精密间隙密封。

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Edwards爱德华10i无油涡旋干泵核心功能是提供清洁真空环境，甚至影响患者的健康可快速抽取气体维持容易导致设备内部零部件生锈、腐蚀；环境中粉尘含量过高目标真空度，会导致转速下降；变频器故障（如 IG 模块损坏、控制板参数漂移）也会使电机无法达到额定转速。某医药企业的普发真空 DUO 系列干泵适配半导体、制药等油箱内的油通过油道被输送到泵内的各个运动部件和密封部位领域；转子带动旋片在定子内高速旋转还具备低污染（无油蒸气）、稳定提高食品的稳定性和保质期。真空干燥是一种常用的食品干燥方法抽速（长期运行性能波动小）及以满足不同行业用户对真空设备的多样化需求。该品牌的 DUO 系列干泵采用了独特的双转子设计节能特性（支持变频调节）。

Edwards爱德华10i无油涡旋干泵过载一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，缩短了设备的停机时间。​
（5）节能：许多新型干泵采用了先进的节能技术抽速下降；Edwards爱德华10i无油涡旋干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Edwards爱德华10i无油涡旋干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。