氦质谱检漏仪（氦检设备）

主要技术指标

1.        最小可检漏率：5×10^-12Pa•m³/s

2.        漏率显示范围：1×10^-4—1×10^-12Pa•m³/s

3.        启动时间：≤3min

4.        响应时间：≤1.0s

5.        检漏口的最高压力：300Pa

6.        机械泵抽速：1.1L/s

7.        电源要求：220V，50Hz，单相，10A

8.        工作环境：5-40℃

9.        相对湿度：≤80%

10.    外形尺寸：550(W)í420(D)í700(H)

11.    重量：65kg

主要配置                                       

1.          进口分子泵

2.          进口机械泵

3.          定制检漏仪专用电磁阀

4.          内置标准漏孔

5.          进口放大器

6.          采用质谱专用模块

7.          铱丝（外涂氧化钇）离子源

8.          液晶触摸彩屏