4”晶圆退火烤箱

4”晶圆退火烤箱

洁净烤箱：

洁净烤箱概述：

    洁净烤箱。是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内材料采用无尘材料，通过外置过滤器持续补充洁净气体，从而使烘箱工作室内达到无尘状态。

    工作室内温度由温控仪智能控制，具备自动恒温及时间控制功能，并附设有超温自动停电及报警电路，控制可靠，使用安全。

洁净工业烤箱详细资料：

一．特点：

1.在无尘洁净环境下使用，能够确保烘箱内部同样洁净；

2.全周氩焊，无尘电热器，机台不产微尘；

3.特殊风路设计,腔体内洁净度、温度均匀度十分。

二．执行与满足标准

1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件

2.GB2423.2-1989试验B

3用途

洁净工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

三．产品技术参数

1.产品名称及型号：洁净烘箱

2.主要技术指标：

   2.1温度范围： 60～ +300℃；

   2.2温度均匀度：200℃±3℃、300℃±4℃;

   2.3温度波动度：±0.5℃（空载）

   2.4温控精度：±0.1℃;

   2.5烘箱搁板为活动形式。

  2.6电源：380v , 50Hz

四、完善的安全保护措施：

    漏电断路器、

    控制线路保险丝装置、

    超温防止保护装置、

    电热过电流保护装置、

    马达过电流保护、

    机台异常蜂鸣器警示

    逆向防止器、

    门安全开关

五、选购设备：

    6.1 可程式温控器

    6.2六点温度记录仪

    6.3三色指示灯

    6.4烘烤架

4”晶圆退火烤箱