晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。
尺寸：4-8英寸晶圆
晶圆舟：标准25片
控温精度：±3℃
升温速率：10℃/min
洁净等级：百级洁净
真空度：5*10-4 Pa
使用温度：200-550度