一、管式扩散炉用途
管式扩散炉是我公司根据客户需求个性化专业定制的高温热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，我公司的高温电炉关键部件全部采用进口部件，仿国外先进热处理制造技术，已经被中科院、国内各大院校、国内多家知名厂家选为长期供货商，专业团队设计制造，可根据客户不同需求定制，厂家直接供货。
二、管式扩散炉主要技术参数
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房） 噪音：≤62dB（A） 震动：≤3μm
◆控制方式： 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
我公司可根据客户要求，专业定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、CVD炉、加热电炉及加热装置等，欢迎广大客户来电咨询。