扩散炉系列
设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标：
炉管数：1〜4管
配工艺管口径：Φ90〜360 mm（3〜12英寸）
恒温区长度：760〜1000 mm±1.0℃（300〜800℃）
760〜1000 mm±0.5℃（800〜1280℃）
单点稳定性：±1.0℃／24h（300〜800℃）
±0.5℃／24h（800〜1280℃）
气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制：浮子／质量流量计
悬臂舟参数：速度：20〜1000 mm／min
大行程：2000 mm
定位精度：±1 mm
大载荷：17 Kg
超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62dB（A）
振动：≤3μm