主要技术参数
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆结构型式：卧式热壁型、立式或其他形式，可根据客户需求定制
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62dB（A）
震动：≤3μm
◆控制方式： 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
青岛晨立电子有限公司可根据客户需求定制各种非标：扩散炉、高温扩散炉、程控扩散炉、微控扩散炉、太阳能扩散炉、立式扩散炉、扩散炉、双管扩散炉、三管扩散炉、扩散炉控制系统、氧化扩散炉、焊接炉、真空炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、氢气炉、工业炉体等各种工业、实验电炉等高温热处理设备。为您的产品工艺量身定做，厂家直接供货，欢迎广大新老客户来电来函。