适用物料 : | 多种可用 | 操作方式 : | 连续式 |
型号 : | CM-100 S350 | 品牌 : | 旦顺 |
加工定制 : | 是 | 规格 : | CM-100 S350 |
占地面积 : | W950×H1510×D1340m2 | 外形尺寸 : | W950×H1510×D1340m |
功率 : | 8.5kw | 传热面积 : | W600×H600×D600m2 |
应用领域 : | 半导体 |
联网烘箱 class100烘箱 升降温斜率可控 半导体专业烘箱 |
一、产品名称及型号:
1.产品名称:无尘烘箱
2.产品型号:CM-100 S350
3.无尘等级:Class 100;
4.含氧量:40min达100ppm以下;(预留氧含量测试孔)
5.温度范围: 常温~ +350℃;(客户工艺需要长期在300℃以上运行)
6.温度均匀度:±2% (空载)
7.升温速度:>5℃/min ,升温斜率可控,升温速度可以通过加热系统控制调节。
8.降温:风冷夹层降温,200℃~ 120℃,3.5度/分钟,120℃~ 65℃约1.5度/分钟。
9.电磁锁:启动设备运行中,电磁门锁锁门,运行未结束,人工不能开门。
10.电源:AC380V 3φ 50Hz,8.5Kw
11.设备型号:
型号 | 工作室尺寸(mm) | 外形尺寸(mm) | 加热功率 | 台数 |
CM-100 S350 | W600×H600×D600 | W950×H1510×D1340 | 8.5kw | 1台 |
二、箱体结构:
1.烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方。
2.全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘。
3.箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘。
4.内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污 避免烘烤产生 PARTICLE。
5.中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密加工(防污染)。
6.保温材料:超细玻璃棉;
7.电热器:采用进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。
8.洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料。
三、工作室的气流设计:
1.采用特殊设计,满足内腔Class 100洁净标准;
2.排气口:3"φ(附自动启闭风门),以达到强烈循环效果而降温,排风加冷阱。
3.进气口:加附N2流量计控制进气量。入气口:10mm
4.压缩气体过滤器,可把气体过滤到CLASS 100,净化气体流量:300L/分钟。
四、先进可靠的测控系统
温控装置:智能控制系统,日本优易控
10〃TFT真彩触摸薄屏
程式编辑:可预编120个程式,每个程式最大可编99段,共1200段
历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)
三点温度记录
五、完善的安全保护措施:漏电断路器//控制线路保险丝装置//超温防止保护装置//欠相保护//电热器过电流保护装置//马达电流过载保护//机台异常时蜂鸣器警示//门安全开关//三色指示灯
公司名称:上海旦顺实业有限公司
业务经理:蒋鑫; 手机号:15221744475
24小时服务热线:400-823-8860
公司主页:www.done-e.com