SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。
它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperViewW1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪特性：
1、 高精度、高重复性
1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；
2） 隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高的测量重复性；
2、 一体化操作的测量分析软件
1） 测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3） 结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；
4） 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
5） 一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3、 精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4、 双通道气浮隔振系统
既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪主要技术指标：
1.技术规格表
光源 | 白光LED | ||
标配影像系统 | 1024×1024（2048×2048可选） | ||
标配干涉物镜 | 10×（2.5×，5×，20×，50×，100×可选） | ||
标配光学ZOOM | 1×，（0.5×、0.75×可选） | ||
标配视场 | 0.49*0.49㎜ | ||
*大视场 | 6*6㎜ | ||
物镜塔台 | 3孔手动 | ||
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ | |
移动范围 | 140×110㎜ | ||
负载 | 10kg | ||
控制方式 | 电动 | ||
水平调整 | ±5°手动 | ||
Z轴 聚焦 | 行程 | 100㎜ | |
控制方式 | 电动 | ||
Z向扫描范围 | 10 ㎜ | ||
Z向分辨率 | 0.1nm | ||
可测样品反射率 | 0.5%~100 | ||
粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | ||
台阶测量 | 准确度 | 重复性 | |
0.75% | 0.1% 1σ | ||
注：粗糙度性能参数依据ISO 25178标准在实验室环境下测量Ra为0.2nm硅晶片Ra参数获得；
台阶高性能参数依据ISO25178标准在实验室环境下测量4.7μm台阶高标准块获得。
2．仪器尺寸（长×宽×高）： 主机：900×700×604㎜；
3．仪器主机重量：小于<span lang="EN-US" style="mso-bidi-font-size:10.5pt;line-height