分子式: : | AsH3 | UN NO.: : | UN 2188 |
含量≥ : | 99.5~99.999%% | CAS : | 7784-42-1 |
产品等级 : | 其他 |
其他名称: 砷烷、胂、氢化砷Arsine、Hydrogen arsenide.
分子式: AsH3
UN No. UN 2188
CAS No. 7784-42-1
产品纯度:99.5~99.999%
包装说明: 40~47L钢瓶 产品说明
砷化氢(化学式:AsH3)又称砷化三氢、砷烷、胂。
是最简单的砷化合物,无色、剧毒、可燃气体。
标准状态下,AsH3是一种无色,密度高于空气,可溶于水(200 mL/L)及多种有机溶剂的气体。
它本身无臭,但空气中有大约0.5ppm的胂存在时,它便可被空气氧化产生轻微类似大蒜的气味。
常温下胂很稳定,分解成氢和砷的速度非常慢,但温度高于230°C时,它便迅速分解。
主要应用于扩散、外延生长、离子注入、化合物半导体用气体、化学气相淀积。
产品应用
砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂;硅中n型扩散;离子注入;生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与III/V族元素形成化合物半导体AsH3可用于合成与微电子学及固态雷射有关的半导体材料。
与磷相似,砷是硅及锗的n-掺染物注意事项
发生泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并隔离直至气体散尽,切断火源。
建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器,穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。
切断气源,喷雾状水稀释、溶解,注意收集并处理废水。
然后抽排(室内)或强力通风(室外)。
如有可能,将漏出气用排风机送至空旷地方或装设适当喷头烧掉。
漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。