定制CMOS工艺专用超洁净烘箱，无尘室烘箱

定制CMOS工艺专用超洁净烘箱，无尘室烘箱

上海旦顺实业有限公司（DONE-E）是一家集生产、销售、服务于一体的烘箱、环境试验箱、防潮箱产品及提供环境温湿度管理专业解决方案的供应商。公司已建立以环境试验设备、烘箱、隧道炉等产品为主体的加工基地。。作为中国领先的环境管理系统提供商。公司专门为半导体、电子、医药、实验室提供各种环境管理解决方案。

Class 100精密无尘烘箱/烤箱COL-2D

工作尺寸：W610×H610×D610（上下）

外形尺寸：W1750×H1805×D1250

功率：14KW

Class 100无尘烘箱性能特点：

1.全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘

2.采用特殊风道设计，经美国进口H.E.P.A送风，过滤效率99.99%，

3.控制器采用韩国进口三元TEMP360温控仪表，操作便捷！

4.完善的保护措施，安全可靠！

主要技术参数：

1.无尘等级：Class 100;

2.温度范围： +60℃～ +250℃；

3.温度均匀度：±1.5%;

4.温度波动度：±0.5℃（空载）

5.温控精度：±0.1℃;

6..排 气 口：ф50；

7..加热方式：无尘加热器；

8.压缩气体过滤器，可把气体过滤到CLASS 10，

9.箱体材料：采用进口SUS304#镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁可防止微尘；

10.内胆材料：采用进口SUS304#镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE；

11.中桶材料：采用进口SUS304#镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。

12.保温材料：超细玻璃棉；

13.控制器采用多段式微电脑温度控制器，具有PID控制参数自动整定功能。

14.运行方式：恒定运行；

15.温度测量：采用特制锴装铂电阻；

16..温控输出：SSR输出

17.完善的安全保护措施：漏电断路器/超温保护/欠相保护/马达过载电流保护/机台异常蜂鸣器警示