分子束外延设备 沈阳鹏程 分子束外延设备报价

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MBE分子束外延的应用领域

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分子束外延可能的应用领域由:在高温超导薄膜和器件的研究和应用方面将由于L-MBE能够人工控制原子层的有秩序堆积,可以外延生长发挥重要作用,分子束外延设备多少钱,出含有几个原子层组成绝缘层(I)的YBCO/I/YBCO夹心结构,具备研制三层夹心型超导隧道结的条件; 外延生长含有低熔点、易挥发的多元化合物半导体薄膜,在准确调整化合物成分比以便调节隙宽度方面具有优势;人工合成具有特殊层状晶体结构的新型材料,探索新型高温超导体或具有特殊性质的新材料;激光分子束外延在研究和发展多元金属间化合物、亚稳态材料方面也可能有应用的前景。




分子束外延技术的优点有哪些?

分子束外延的英文缩写为MBE,这是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。
在超高真空条件下,由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气,分子束外延设备厂家,经小孔准直后形成的分子束或原子束,直接喷射到适当温度的单晶基片上,同时控制分子束对衬底扫描,就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜。
该技术的优点是:使用的衬底温度低,膜层生长速率慢,束流强度易于准确控制,膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。
用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜,分子束外延设备报价,以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料。

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MBE分子束外延系统的特点有哪些?

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利用分子束外延不仅制取了双质结激光器、三维介质集成光波导,还可以用此法使二种光波导重叠地生长在同一基片上,制成了从一个波导移向另一个波导的锥形辋合器,其耦合系数接近于。
MBE法与其他液相、气相外延生长法相比较,其特点是:

①分子束外延生长是在超高真空下进行的,残余气体对膜的污染少,可保持极清洁的表面。

②生长温度低,如生长GaAs只有500~600℃,Si只有500℃。

③生长速度慢,(1~10μm/h)。
可生长超薄(几个μm)而乎整的膜,膜层厚度、组分和杂质浓度均可进行准确地控制。

④可获得大面积的表面和界面有原子级平整度的外延生长膜。

⑤在同一系统中,分子束外延设备,可原位观察单晶薄膜的生长过程,可以进行生长机制的研究。
外延生长的缺点是时间长,大批量生产性差,对真空条件要求高。



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发布时间
2020-02-17 14:36
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23433862
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