多源有机无机蒸发系统
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主要用途:
用于纳米级单层及多层金属膜、 半导体膜等新材料的制备。广泛应用 于大专院校的薄膜材料科研。
系统组成:
由真空室、蒸发源、样品台、 真空测量、膜厚测试、电控系统组成。
技术指标:
极限真空度5.0×10-5Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S; 恢复真空时间:40分钟可达6.6×10 Pa
真空室:D形真空室,尺寸350× 380mm
样品台:尺寸为4英寸厚度3mm的平面样品;
电极:数量:4支水冷结构;直径Φ20㎜
样品基片:,基片在镀膜位置实现自转。基片的温度从室温至600℃
4套挡板系统:基片挡板与源挡板;靶挡板共有3套,多源有机无机热蒸发镀膜机厂家, 样品挡板(1套)
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统。
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钙钛矿蒸发镀膜机的特点
1、样品位于真空室上方,有机无机热蒸发镀膜机厂家,蒸发源位于真空室下方,向上蒸发镀膜,且蒸发源带有挡板装置。</span>
2、设有烘烤加热功能,可在镀膜过程中加热样品,烘烤加热温度可达180℃。
3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。
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什么是蒸发镀膜?
蒸发镀膜常称真空镀膜。
其特点是在真空条件下,材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜,再经高温热处理后,在玻璃表面形成附着力很强的膜层。有70 多种元素、50 多种无机化合物材料和多种合金材料可供选择。PVD工艺的首要条件是在真空条件下操作,因为限量以上的残余气体会影响膜的成分和性质。为了实现镀膜工艺,要求残余气体的压力为0.1~1Pa。
ZF350有机无机联合制备:采用3~4组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等,特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
技术要求:
1、镀膜室:镀膜腔室尺寸约为Φ350×450mm,不锈钢材料,圆柱形前开门结构,内带有防污板。
2、抽气系统:采用分子泵 机械泵抽气系统;
2.1、真空度:镀膜室的极限真空≤6×10-4Pa;
2.2、系统漏率≤1×10-7PaL/s。
3、蒸发源系统:有机源蒸发源一个,单室有机无机热蒸发镀膜机厂家,容积5ml,一台蒸发电源,可测温控温,加热温度400℃,功率0.5Kw;
4、样品架系统:样品架可放置大小为Φ100mm的样品,载玻片;旋转速度为:0~30转/分;
5、样品在镀膜过程中,带有烘烤加热功能,烘烤加热温度为:室温~400℃,测温控温。
6、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
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