大口径激光干涉仪G300
G300M大口径激光干涉仪系统是双路测量系统：一路是100mm（4英寸）小口径测 量系统，另一路是大口径平面测量系统。100mm口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大 口径平面测量系统从100mm口径扩束到300mm（12英寸），标配平面透过 标准镜和平面反射标准镜。
产品型号 | G450M | G450S | G300M | G300S |
测量方式 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 |
有效通光口径 | 100mm和450mm | 450mm | 100mm和300mm | 300mm |
标准镜材料 | 熔石英 | 熔石英 | 熔石英 | 熔石英 |
光源 | 波长调谐激光（632.8nm），配合波长移相干涉条纹分析软件 | |||
连续变焦倍数 | 1-6.7倍 | 固定倍率 | 1-6.7倍 | 固定倍率 |
光路切换 | 对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换 | |||
显示方式 | 计算机或独立监视器实时显示 | |||
小口径平面标准镜 | PV：优于λ/20 | PV：优于λ/20 | ||
小口径球面标准镜 | PV：优于λ/10和λ/20 | PV：优于λ/10和λ/20 | ||
大口径平面透过标准镜 | PV：优于λ/10 | PV：优于λ/10 | PV：优于λ/15 | PV：优于λ/15 |
大口径平面反射标准镜 | PV：优于λ/10 | PV：优于λ/10 | PV：优于λ/15 | PV：优于λ/15 |
大口径综合测量精度 | PV：优于λ/10 | PV：优于λ/10 | PV：优于λ/10 | PV：优于λ/10 |
衰减过滤片 | 选配 | |||
电源 | AC100-240V 50/60Hz | |||
推荐气浮平台尺寸 | 3.5X1.2米 | 3.5X1.2米 | 2.5X1.2米 | 2.5X1.2米 |