大口径激光干涉仪G300
G300S大口径激光干涉仪单光路系统,适合光学车间平面元件的现场检验。 主要用途:平面类光学元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)表面面形、光学平行度和材料均匀性 的测试;准直系统波前质量的测试。球面类光学元件(包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光 圈量规、球面轴承等)表面光圈、局部形变的测量,球面曲率半径的测量(配合光栅尺)。平面类 光学元件(平面镜、水晶、陶瓷、标准量块等)的表面光圈的测量。
产品型号 | G450M | G450S | G300M | G300S |
测量方式 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 |
有效通光口径 | 100mm和450mm | 450mm | 100mm和300mm | 300mm |
标准镜材料 | 熔石英 | 熔石英 | 熔石英 | 熔石英 |
光源 | 波长调谐激光(632.8nm),配合波长移相干涉条纹分析软件 | |||
连续变焦倍数 | 1-6.7倍 | 固定倍率 | 1-6.7倍 | 固定倍率 |
光路切换 | 对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换 | |||
显示方式 | 计算机或独立监视器实时显示 | |||
小口径平面标准镜 | PV:优于λ/20 | PV:优于λ/20 | ||
小口径球面标准镜 | PV:优于λ/10和λ/20 | PV:优于λ/10和λ/20 | ||
大口径平面透过标准镜 | PV:优于λ/10 | PV:优于λ/10 | PV:优于λ/15 | PV:优于λ/15 |
大口径平面反射标准镜 | PV:优于λ/10 | PV:优于λ/10 | PV:优于λ/15 | PV:优于λ/15 |
大口径综合测量精度 | PV:优于λ/10 | PV:优于λ/10 | PV:优于λ/10 | PV:优于λ/10 |
衰减过滤片 | 选配 | |||
电源 | AC100-240V 50/60Hz | |||
推荐气浮平台尺寸 | 3.5X1.2米 | 3.5X1.2米 | 2.5X1.2米 | 2.5X1.2米 |