G200M激光平面干涉仪为正立式结构,通光口径为200mm。 G200M弥补了国内使用有效口径150mm的干涉仪测试大尺寸光学系统和光学元件不能全口径 测试的不足,改善提高了大口径光学系统和光学元件测试精度。