A530 描述
A530 移动式氦质谱检漏仪(Helium Mass Spectrometer Leak Detector)，是一款大抽速（前级泵抽速30 m3/h），低维护、高灵敏度、操作便捷的干泵检漏仪。A530 氦质谱检漏仪轻松检漏，使您放心得到快速准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜，光伏等行业。
功能特点
大抽速前级泵，工作效率高
支持正压检漏，负压检漏
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
自动跟踪本底功能，提供快速可靠的测量结果
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
机器卓越的性能支持7*24 小时长时间在线测试
双铱丝离子源，系统设计有效的防大气冲击功能
配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤
支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底有可便捷更换过滤器
指标：
最小可检漏率：5×10-13Pa·m3/s
漏率显示范围：1×10-3～1×10-13Pa·m3/s
启动时间：≤2min
响应时间：＜0.5s
检漏口最高工作压：1500Pa
前级泵抽速：30m3/h
配置：
德国普发分子泵，
涡旋干泵，30 m3/h
德国宝帝电磁阀
歌博氦质谱分析模块（双铱带离子源）
标准漏孔（10-8 Pa·m3/s）