等离子一般是利用激光、微波、电晕放电、热电离、弧光放电等多种方式将气体激发成等离子状态。常压等离子体的产生是通过在等离子喷枪内放电而实现的。将空气导入喷枪，通过放电使气体成为等离子体，再将产生的等离子体导向需要处理的制品的表面。喷枪结构将带电的电弧局限在喷嘴内，同时喷嘴也决定了所产生的等离子体的几何形态。
气体在高频低压下被激发，产生含有离子、激发态分子，自由基等多种活性粒子，通过化学或物理作用对工件表面进行处理，实现分子水平的污染物去除(一般厚度为3～30nm)，从而提高工件表面活性。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺，根据选择的工艺气体不同，等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗
真空等离子清洗机
清洗介质为气体，主要有：氮气（N2）,氩气(Ar),氢气（H2）,氟化氮（NF3）,四氟化碳（CF4）,压缩空气等···；使用成本低，环保无污染，清洗过程只需几分钟完成，具有高效的特点