过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度。
Alicat的LL1系列质量流量计采用专利的内部补偿型层
流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动
充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的
差异，并对用户标准工况进行修正。
所有Alicat质量流
量计均具有NIST可溯源校准证书。
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性能/参数 |
LL1系列质量流量计 |
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流量范围 |
0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 |
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标定气体 |
内置90条气体可选择 |
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精度(调零后) |
±(0.8%Rd+0.2%FS) |
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高精度(调零后) |
±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
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重复性 |
±0.2%FS |
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漂移(零点/满量程) |
0.02% F.S/ºC/Atm |
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工作范围 |
0.5- |
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响应时间 |
10毫秒(可调整) |
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启动预热时间 |
1秒内 |
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标准工况 |
25ºC & 14.696 psia，可自定义修改 |
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工作温度范围 |
-10~-50℃(另有高温订制品) |
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工作湿度范围 |
0-RH(非冷凝) |
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大工作压力 |
10Bar |
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大工作压差 |
5bar |
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安装方向 |
任意 |
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材质 |
SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON |
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显示屏 |
背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度 |
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数字信号 |
标准RS232 选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
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模拟信号 |
标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
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第二路模拟信号 |
标准0-5V/1-5V/0-10V 选配:4-20mA |
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电气接口 |
标准圆形8芯 选配:圆形6芯、DB9、DB15 |
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供电电压 |
+24VDC |
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消耗电流 |
100mA以内 |