集成电路工业的废气有含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气，含SiO2 的含尘废气，以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等，这些工业废气中大部分成分是有毒有害的，必须进行有效的处理才能排入大气中。
深圳晶灿环保LCO-40-8C型废臭气体净化设备主要针对中型企业一般风量的废气、臭气、异味净化治理。
LCO系列废臭气体光催化净化设备 是我公司拥有完全自主知识产权的高科技环保专利产品：（专利号：ZL200920171772.6）设备运行稳定可靠，安全节能省心，维护简单经济。
一、技术原理：
1、光催化氧化是在外界可见光的作用下发生催化作用,光催化氧化反应是以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为CO2和H2O。本公司采用的半导体是目前反应效率最高的纳米TiO2光催化剂,经过特殊处理后使用,达到理想效果。
2、在光催化氧化反应中，通过紫外光照射在纳米TiO2光催化剂上产生电子空穴对，与表面吸附的水份（H2O）和氧气（O2）反应生成氧化性很活波的羟基 自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、0-）。能够把各种废臭气体如醛类、苯类、氨类、氮氧化物、硫化物及其它VOC类有机物、无机物在光催化氧化 的作用下还原成二氧化碳（CO2）、水（H2O）以及其它无毒无害物质,同时具有除臭、消毒、杀菌的功效，由于在光催化氧化反应过程中无任何添加剂，所以 不会产生二次污染。