7寸扩晶机说明
一, 机器用途:
JT-220KJ-7型晶片扩张机(扩片机)被广泛应用与发光二极管、中小型功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。
一, 机器特点:
①采用双气缸上下控制;
②恒温设计,膜片周边扩张均匀适度;
③加热,拉伸,扩晶,固膜一次完成;
④加热温度,扩张时间,回程速度均匀可调;
⑤操作简便,单班产量大;
⑥机器外型见实物。
整机采用高品质零部件,所用加工部件都使用高强度铝合金及304不锈钢制造,确保设备的耐久性;温度控制器件采用原装宇电数显PID人工智能温控仪。
二, 技术参数:
1, 电源电压:220VAC(50Hz)士10%;
2, 功率:500W
3, 工作气压:4-6Kg/cm2:;
4, 温度范围:室温~350℃;
5, 上气缸行程: 50/275mm;
6, 下气缸行程:63/100mm(可双向调节);
7, 加热圆盘直径: 196mm
8, 外型尺寸:长500x宽350 x高1150,单位mm
9, 机器重量:30Kg
三, 操作步骤:
1,将气压表拧入设备左侧过滤器螺孔中。插上电源,气管快速接头接上高压气管;2,打开电源开关,将温度设定于75℃(不同晶片膜温差异士5℃);3,将上气缸开关拨至“上升”位置,上压模回至最上方,将下气缸开关拨至下降位置,下压模回至最下方(反复几次下气缸动作,将上升速度调整至适合速度)4,松开锁扣,掀起上工件板,先将扩晶
环内环放于下压模上,再将粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央,晶片朝上,将上工件板盖上,锁紧锁扣。5,将下气缸开关拨至“上升”位置,下压模徐徐上升,薄膜开始向四周扩散,晶粒间隔逐渐拉大,当晶片间隔扩散至原来的2~3倍时既停止上升,将扩晶环外环圆角朝下平放在薄膜与内环正上方。6,将上气缸开关拨至“下降”位置,上压模下降,将扩散后的翻晶膜套紧定位,上压模回至最上方。7,将下气缸开关拨至“下降”位置,下压模下降至最下方,取出扩晶完毕的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序备胶固晶。