4英寸迷你型探针台，适宜4英寸以内样品测试，可放置在手套箱使用，重量轻巧，方便实惠。
PS：探针台属于非标产品，均可根据客户需求进行定制；
4英寸迷你探针台 Mini Probe Station | ||||
| 类型 | 规格 | |||
Chuck（卡盘） | 尺寸：4英寸，圆形 | |||
| 材质：不绣钢（可升级镀金） | ||||
| 旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1° | ||||
| 旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1° | ||||
| X-Y移动行程：2" x3"，移动精度：10um（可升级为1um精度） | ||||
| 吸附孔：中心孔径最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为4"X4" | ||||
| T型平台，轻巧方便。 | ||||
| 平整度：5um，平台特殊处理，使得探针座吸附更牢固 | ||||
| 最大外尺寸：500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜) | ||||
| 重量：30KG（带显微镜） | ||||