什么是质量流量控制器
质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，流量控制器价格，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
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流量控制器内存在水汽有多糟
排出液体
如果您的ALICAT质量流量计、质量流量控制器内渗入了液态物质，切勿置之不理，倘若液体在气路内滞留太久，质量流量控制器价格，可能导致不同金属间相互反应。如果可以的话，请将设备置于真空工况下，高真空(0.25 psi或更低)加上微热(50 ~60 ° C)可使得液体从设备内部的微小气道内蒸发。
倘若液体中含有悬浮颗粒物，抽湿过程可能会留下固体颗粒，从而导致质量流量计或质量流量控制器内留有残渣。该残留物由于颗粒过重而干扰到气体作层流运动并影响测量精度的几率很小，但如果那样的话，须使用清洁设备。售后服务工程师会将设备拆卸、进行清洁后并重新标定。
如果您的质量流量控制器是316L不锈钢结构的耐腐蚀系列，热式气体质量流量控制器价格，那您大可高枕无忧，因为耐腐蚀系列的结构与液体流量计、液体流量控制器基本相同，可大程度地允许液体渗入。［这时您可能会问：ALICAT还有液体流量计、液体流量控制器吗？］
一些客户——诸如上文提到的水处理工厂和环境空气监测站，在难题后，弃用了普通的热式原理仪器而转投ALICAT层流压差式质量流量计、质量流量控制器，从而亲身体会到了ALICAT设备众多的优势之一。如果您恰好在进行棘手、具有挑战性的流量或压力相关项目，那么，这是一个选择ALICAT质量流量计、质量流量控制器的理由。
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质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?
质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明， MFC都采用氟橡胶密封， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。
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