对于此系列的小型SEM,我们自行设计制造了电子枪系统、光学系统,电子控制系统,真空组件,软件等等,我们尽可能自己制造了除真空泵和电子元器件外的全部部件,所有倾注的心血主要是为产品下一步的技术升级做到尽可能多的技术储备。
作为国内一个自主研发的仪器公司,我们投入了大部分精力在做扫描电子显微镜的项目,我们目的很明确,就是要尽可能做到在同等技术级别的平台下不落后国际上的前辈产品。我们还会像能谱仪(ED-XRF)一样,一步一个脚印的为国内厂家、大学和研发机构等做好每一台产品。希望我们的产品能够为我们中国日益蓬勃的研发工作做出微薄之力。
产品说明:
(1)放大倍率6万倍(Magnification Max 60,000x)
(2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector)
(3)5KV~30KV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:5kV to 30Kv,High image resolution)
(4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)
(5)冷却台的安装可在无前处理情况下对水分取样分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)
(6)高/低真空配置缩短前处理过程(High&Low Vacuum System)
(7)CCD摄像头的安装可对载物台内部观察(The CCD camera is mounted to view the inside of the stage)
(8)Tilt(0~45)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional))
技术参数:
20nm (30kV, BSE Image) | ||
30x~60,000x | ||
5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5 step) | ||
二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image | ||
* Multi Detector (SEI+BSEI) | ||
Standard Mode | ||
电子枪系统 | ||
预对中钨灯丝 | ||
自动偏压方式 | ||
手动方式 |