什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。
扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,流量控制器价格,光导纤维制造设备中。
并广泛用于石油化工。
冶金,质量流量控制器价格,制药等。
特点:精度高,重复性好。
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流量器安装使用注意事项
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仪表连接管道的振动连接TMF的管道在常见实际范围内的振动不会产生振动干扰,在正常情况下不影响仪表的测量性能。
惟插入式TMF的检测杆必须牢固地固定于管道,并避免装在有振动的场所。
脉动流的影响TMF响应时间长,不适应脉动流流量测量。
若作测脉动流测量,气体质量流量控制器价格,应了解TMF的响应性,以保证能跟随的上脉动的速度变化。
脉动引起的测量误差通常使仪表输出偏高,质量流量控制器价格,其程度取决于脉动幅值和频率。
质量流量控制器主要参数
质量流量精度: ±0.002×流量±零点漂移
密度测量精度: ±0.003g/cm3
密度测量范围: 0.5~1.5g/cm3
温度测量范围: ±1°C
(2) 传感器相关数据:
环境温度: -40~60°C
介质温度: -50~200°C
防爆类型: iBⅡBT3
关联设备: 配套变送器
(3) 变送器相关数据:
工作温度: 0~60°C
相对湿度: 95%以下
电 源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W
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