有机无机蒸发镀膜仪
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有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构,主要由二个有机材料生长室组成,两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接,其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口,能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。有机无机蒸发镀膜仪的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。
什么是蒸发镀膜?
蒸发镀膜常称真空镀膜。
其特点是在真空条件下,材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜,再经高温热处理后,电阻热蒸发镀膜机,在玻璃表面形成附着力很强的膜层。有70 多种元素、50 多种无机化合物材料和多种合金材料可供选择。PVD工艺的首要条件是在真空条件下操作,因为限量以上的残余气体会影响膜的成分和性质。为了实现镀膜工艺,电阻热蒸发镀膜机供应,要求残余气体的压力为0.1~1Pa。
ZF350有机无机联合制备:采用3~4组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等,特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
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钙钛矿蒸发镀膜机的特点
1、样品位于真空室上方,蒸发源位于真空室下方,向上蒸发镀膜,且蒸发源带有挡板装置。</span>
2、设有烘烤加热功能,电阻热蒸发镀膜机生产厂家,可在镀膜过程中加热样品,烘烤加热温度可达180℃。
3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。
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