脉冲激光沉积的基本系统由哪些组成?
腔室及真空泵
快速门,分子泵,全量程规
沉积源
靶台,6X1’’(25mm) 靶,PLD450型激光镀膜设备定做,可以水平旋转,
可Z方向移动
样品台
可加热至800oC(1000oC可选),可水平旋转,可Z方向移动
在线工艺监控
石英晶振沉积速率监控仪
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常规沉积条件下的组合合成
脉冲激光沉积系统特点及优势:
可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供专业的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,;
沈阳鹏程真空技术有限责任公司拥有先进的技术,我们都以质量为本,信誉高,PLD300A型激光镀膜设备定做,我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对脉冲激光沉积感兴趣,欢迎点击左右两侧的在线客服,或拨打咨询电话。
脉冲激光沉积简介
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——专业脉冲激光沉积供应商,激光镀膜设备定做,我们为您带来以下信息。
【设备主要用途】
PLD450A型脉冲激光沉积设备采用PLD脉冲激光沉积技术,用于制备高温超导薄膜、半导体膜、铁电薄膜、硬质薄膜以及微电子和光电子用多元氧化物薄膜及异质结,也可用于制备氮、碳、硅化合物及各种有机—无机复合材料薄膜及金刚石薄膜等。
【设备优点】
设备全程采用一键式操作抽气,pld300型激光镀膜设备定做,关机,程序自动化定时操作。避免了繁琐的角阀,插板阀人工开启。
【设备主要组成】
设备由沉积腔室(单室球形或圆筒形)、样品加热转台、激光入射转靶、激光窗、电源控制系统、激光束扫描系统、计算机控制转靶的旋转、脉冲准分子激光器等组成
PLD450型激光镀膜设备定做-激光镀膜设备定做-沈阳鹏程由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司(www.pengchengzk.com)坚持“以人为本”的企业理念,拥有一支的员工队伍,力求提供好的产品和服务回馈社会,并欢迎广大新老客户光临惠顾,真诚合作、共创美好未来。沈阳鹏程——您可信赖的朋友,公司地址:沈阳市沈河区凌云街35号,联系人:董顺。