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工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求，又要满足人的舒适度，温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言，净化手术室价格，在大规模集成电路进行生产光刻曝光过程中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。　湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压，来防止污染，内外压力差需要保持：洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力；相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间；洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

由于无尘车间是密闭性很强的建筑，其安全疏散成为非常重要和突出的问题，和净化空调系统设置也有密切关系。一般应注意以下几点：

1、每一生产层防火区或洁净区至少设2个安全出口，只有面积小于50㎡，人员少于5人时，可允许只设一个安全出口。

2、人净入口不应作疏散出口。因为人净路线往往迂回曲折，一旦烟火迷漫，要求人员很快跑到室外是很困难的事。

3、吹淋室不能作为一般出入通道，由于这种门常为两扇联锁或自动，一旦出现故障，非常影响疏散，所以一般均在风淋室设旁通门，工作人员多于5人时必须设此门。平时工作人员出无尘车间时不应走吹淋室而应走旁通门。

4、洁净区内各无尘车间的门，考虑到维持室内压力状况的需要，其开设方向要朝向压力大的房间，因为要靠压力把门压紧，这显然和安全疏散的要求相反。为了考虑平时洁净和紧急疏散时的两方面要求，规定洁净区和非洁净区之间的门、洁净区与室外的门作为安全疏散门对待，其开启方向一律朝向疏散方向，当然，单设的安全门也是如此。