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手套箱在OLED器件制作过程中的应用


OLED,即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),是一种全新的显示技术。
与LCD相比,可视角度宽(大于170°)、响应时间快(LCD的千分之一)、低温特性好(在零下40度正常显示)、低功耗等优点,被业界广泛看好成为下一代显示技术,现在已广泛应用于车载显示器、手机显示屏等等。
并且随着OLED技术发展,白光OLED在照明领域也开始崭露头角,尤其在城市照明、广告牌等行业被寄予非常高期望。

通常所说OLED其实包含小分子OLED和高分子OLED(也称PLED)两种。
小分子OLED和高分子OLED的差异主要表现在器件的制备工艺不同:小分子器件主要采用真空热蒸发成膜工艺,高分子器件则采用旋转涂覆或喷涂印刷成膜工艺。

OLED器件的制备工艺大致包括:ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前处理→真空蒸镀有机层→真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层→封装→切割→测试→模块组装→产品检验等十几道工序

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手套箱常见故障及解决办法

1、循环和分析仪同时关掉

原因:①箱内压力瞬间过高,超过 12mbar,系统自动保护;②电压不稳,造成系统保护。

办法:①检查压力设置是否正确、压力传感器是否异常,箱体真空阀或补1气阀是否损坏,压力回复正常后,再开启分析仪和循环。
②检查真空泵是否坏掉,无法运行。

2、大、小仓无法补1气

原因:①手套箱内通往大小仓的气孔可能被塑料薄膜等堵塞;②电磁阀是否没有打开。

办法:①根据管路走向,确定气孔位置,疏通管路;②检查线路及电磁阀。

3、大小仓无法抽气

原因:①大小仓内抽气孔被塑料薄膜等堵塞或舱门漏气;②仓门没关紧,或是大小仓密封圈松动。

办法:①根据管路走向,确定气孔位置,疏通管路;②关紧仓门,检查大小密封圈;③检查工作气压是否过低(因为大仓抽气阀是气动阀)。

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手套箱结构原理

主要由主箱体、过渡室两部分组成。
如用户有其它特殊要求,也可以根据需要进行设计制造。

主箱体上有两个(或两个以上)手套操作接口,分布在箱体的前边(或前后两边),这使得本操作箱能被一个(或几个)人同时操作,提高了箱体的使用效率。
另外,在箱体的前面(或前后)都有观察窗,操作者能够清楚地观察到箱体内的操作过程,使得操作过程直观地展现在操作者的眼前。
过渡室的阀门上有抽气与充气接嘴,EDWARDS RV12 真空泵厂家,在需要抽气或充气时可由此接入。
主箱体上也安装有阀门和接嘴,用户在需要维持气压平衡而对主箱体放气或充气时可以使用(手套口之间的三通阀必要时也可以用来放气)。
主箱体的前观察窗上方安装了照明日光灯。

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发布时间
2020-06-30 11:48
所属行业
其他无机非金属材料
编号
23726476
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