手套箱常见故障及解决办法
1、水氧含量大于200ppm
原因：新箱调试或误操作。
办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。
2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障
原因：气源压力不足。
办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。
3、屏幕显示“Pump Switch Off”
原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。
办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。
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核工业手套箱
核研究领域手套箱主要涉及放1射性物质的处理，此类手套箱以保证操作人员免受放1射性威胁为原则。
在核废料、后处理、核能和核研究领域使用的手套箱有严格的规定，艾明坷在设计核应用手套箱中严格遵守环境保护和质量控制等一系列国际安全标准。
功能描述：
1、泄露率 ＜5×10-5/h
2、有自动排放处理放1射物功能
3、箱体内设有起吊移动机构
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。
在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。
ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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