等离子光氧一体机的工作原理： 当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场取得能量，经过激起或电离将能量转移到分子或原子中去，取得 能量的分子或原子被激起，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间彼此磕碰后生成稳定产物和热。
(在外加电场的作用下，介质放电发生的很多携能电子炮击污染物分子，使其电离、解离和激起，然后便引发了一系列杂乱的物理、化学反应，使杂乱大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成 无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
) 然后部分有机废气再经过破坏、分化、催化氧化把污染气体分化为无毒无害无味气体。
采用高能C波段光线强裂污染气体分子链， 改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。
强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有效地杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。
在C波段激光刺激催化剂涂层发生活性，强化催化氧化作用。
在分化过程中发生高能高臭氧UV紫外线光束分化空气中的氧分子发生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所 以需与氧分子结合，进而发生臭氧。
UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有极强的铲除效果。
O3也为强催化氧化 剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再经过臭氧进行氧化反应，到达脱臭及杀灭菌的目的。
等离子净化器工作原理：
采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的 离子起决定性的作用。
流星雨壮的 离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。
污染节制在等离子体的作用下‘产生活性自由基’活化后的污染物分子经过等离子体定向连化学反应后被脱除。
当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子键断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。
在低温等离子体中，可能发生各类的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分对气态有机污染物的降解机理有足够的能量来产生自由基，引发一系列复油烟等离子杂的物理、化学反应。
由低温等离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子、分子间的相互结合及加成反应。
这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。
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