dsn-mfc质量流量计特性：
气体流量控制器标准量程（n2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500sccm； 0～1、2、3、5、10、20、30、50、100、200slm；
气体流量控制器准精度：±1％f.s；
重复精度：±0.2%f.s
响应时间：电特性 ＜10sec 气特性＜1～4sec
气体流量控制器线性：±（0.5～1）％f.s
工作压差范围：0.05～0.3mpa
气体流量控制器耐压：3，10mpa；
工作环境温度：5～45℃
气体流量控制器输入输出信号电压：0～+5.00v
气体流量控制器电源：+15v500ma、-15v500ma(输入阻抗大于100k，输出电流不大于3ma)
气体流量控制器电连接器：d14pin
气体流量控制器外形尺寸：130*28*121mm
气体流量控制器重量：约1.0kg
气体流量控制器接口尺寸：swagelok:φ3.φ6.φ10.φ1/4〞.φ3/8〞....
vcr接头：φ1/4〞.φ3/8〞.φ1/8〞........