真空变压吸附制氧装置，简称VPSA制氧机，是采用锂基分子筛吸附空气中的氮气、二氧化碳等杂质，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气。VPSA制氧装置具有投资少、占地面积小、制氧能耗低、工艺流程简单、负荷调节范围广、建设工期短等优点。
昆山锦程配套2000/80型制氧机实际运行参数如下：
1、 产量：2200Nm³/h
2、 纯度：80%
3、 能耗：0.32KWh/Nm³
特别是稳定性，真正实现了无人值守。
富氧底吹所需用氧可通过多种工艺实现，如变压吸附技术、深冷技术等，相较而言，变压吸附技术投资小，电耗低，运行方便，负荷调节灵活，在100Nm³/h-20000Nm³/h用氧需求下，综合优势明显，满足绝大多数金属冶炼的应用场景。迄今为止，昆山锦程已为很多行业承建了200余套变压吸附制氧设备。
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