探针台 | ||
特点 | 类型 | 规格 |
*紧凑的结构，轻巧的重量； *结构设计合理，经济实用； *探针操作灵敏，直线度高； *便于维护； | Chuck（卡盘） | 尺寸：4英寸，圆形 |
材质：不绣钢（可升级镀金） | ||
旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1° | ||
X-Y移动行程：4" x4"，移动精度：10um（可升级为1um精度） | ||
吸附孔：中心孔径最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为4"X4" | ||
整体规格 | U型设计，可放置4个高端探针座，中端最多8个探针座 | |
平整度：5um，平台特殊处理，使得探针座吸附更牢固 | ||
尺寸：500mm长 x 480mm宽 x 480mm高(带显微镜) | ||
重量：50KG（带显微镜） | ||
选配： * Z轴升降行程：5mm，卡盘快速升降，方便更换样品，不会碰触到其他已调试好器件； * 卡盘镀金； * 搭配射频探针； * 视频CCD系统； * 防震桌； * 屏蔽箱； * 加热系统； | ||