罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。通常抽气速率较大,配置电机较小,故需要前级泵预抽,到前级泵抽到规定真空度后,启动罗茨真空泵,来提高抽速和真空度。它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触。
罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。通常抽气速率较大,配置电机较小,故需要前级泵预抽,到前级泵抽到规定真空度后,启动罗茨真空泵,来提高抽速和真空度。它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触。