精密双头全自动皮秒激光蓝宝石硅片晶圆基板激光精密切割机
在激光加工过程中,实现加工的物理基础是激光光束与加工材料相互作用。
当激光辐照或扫描材料时,材料吸收激光能量并将其转化为热能,不同能量密度、功率作用于材料时会产生不同的热效应,因此能实现不同的加工效果。
皮秒激光器是脉宽为皮秒的激光器,作为超短脉冲激光的典型代表,皮秒激光具有超短脉宽、重复频率可调、超高峰值功率的特点。
皮秒激光加工的原理在于:当激光照射到材料表面时,除一部分光被反射外,其余光能基本都进入材料内部,这其中的一部分被材料本身吸收,另一部分则透过材料。
对于金属材料,皮秒激光的能量被材料内的自由电子线性吸收,激发之后产生等离子体,在等离子体与皮秒激光共同作用下,材料内部膨胀、爆炸产生冲击波,使得受作用区域材料脱离母材,完成材料加工过程。