蒸发电极金属退火
蒸发电极金属以后需要进行退火，使得半导体表面与金属能够形成合金，以接触良好（减小接触电阻）。这时的退火温度要选取得稍高于金属-半导体的共熔点（对于Si-Al合金，为570度）。
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二、铁素体不锈钢 铁素作不锈钢的含Cr量一般为1330合碳量低于0.25%。有时还
加入其它合金元素。金相组织主要是台铁 素体加热及冷却过程中没有α<=>γ转变不
能用热处理进行强化。性强加入合金元素比可在有机酸及 含Cl-的介质中有较强
的抗蚀。同时它还具有良好的热加工性及一定的冷加工性。铁体不锈钢主要用来制作要求
有较高的耐蚀性而强度要求较低的构件广泛用于制造生产、氮肥等设备和化工使用的
管道等。 典型的铁案体不锈钢有Crl7型、Cr25型和Cr28型，换向扭热处理，其成分性能及热处理工艺如
表所示。
316(0Cr17Ni12Mo2)不锈钢零件热处理工艺
要达到的目的：
1，扳轴热处理，减小材料的弹性滞后和弹性后效，使得材料在升温（升压）和降温）过程中形变状态趋于稳定；即就是在每一次升温（升压）过程的每个点，应变值能达到稳定，降温（时也是如此。能保证升、）时每个点应变值都是一致的。
2，塔形轮热处理，消除机械加工和热处理过程中所产生的应力； 工艺过程（参考下图）
如果先在真空炉中高温1010～1150℃环境下，保温3min进行固溶处理，进行奥氏体晶粒细化，之后，在430℃～480℃环境中保温1.5h进行回火处理。
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