（3）蚀刻清洗气体：以含卤素的卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮（NF3）、（HBr）、四氟化碳（CF4）、六氟（C2F6）等。
（4）反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳（CO2）、氨（NH3）、氧化亚氮（N2O）等。
（5）金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，老河口高纯氩气，如六氟化钨（WF6）、（Ga（CH3）3）等。
瓶装高纯氦的使用注意事项
高纯氦是可以作为光纤、半导体、钛镐等活性金属生产过程中的保护气体，高纯氩气厂家，现如今，高纯氦在化工厂、科研单位等处，都有着非常广泛的应用。
我司专业从事高纯氦的供应，为了您可以更好的认识和选用高纯氦，下面我们就为您具体介绍一下瓶装高纯氦的使用注意事项：1、包装的气瓶上均有使用的年限，高纯氩气厂家推荐，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。
液态氦气沸点极低，当温度降至2.178K时，就转变为一种粘度接近于零的具有流动性的液氦，高纯氩气价格表，此时的液态氦气被称为超流体。
液态氦气已实际应用在许多晶圆处理程序步骤中，它可在高压气相化学沉积(HP-CVD)以及蚀刻程序上作为晶背冷却之用，并且它也可用作为携载气体应用在CVD以沉积抗反射层、氧氮化合物及其它薄膜用。
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