氦质谱检漏仪的结构
质谱室，形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，氦气质谱检漏仪报价，并将冷阴极磁控规也放在其内，正压氦气质谱检漏仪报价，共用其磁场。
为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。
质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。
氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成，有时还需要配置辅助的真空系统。
真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。
按照施漏气体方法的不同，国产氦气质谱检漏仪报价，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。
其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的准确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，国产氦气质谱检漏仪报价，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。
其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。
离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。
质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。
收集放大器收集氦离子流并送人到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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