氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。
1、检漏阀：接在质谱室和被检件之间的管道上。
有些氦质谱检漏仪采用节流阀，正压质谱检漏真空系统生产厂家，控制流入质谱室的气体流量。
2、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。
也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
3、标准漏孔：一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型)，用它来校准氦质谱检漏仪的Z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。
真空压力法氦质谱检漏
采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，质谱检漏真空系统生产厂家，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，正压质谱检漏真空系统生产厂家，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。
真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，正压质谱检漏真空系统生产厂家，反映被检件的真实泄漏状态。
氦质谱检漏仪适用领域
氦质谱检漏仪，在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在装备中也离不开检漏，弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、弹头、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏。
氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用。
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