氦质谱检漏仪的结构
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。
由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。
系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。
检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。
真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，正压氦所质谱检漏仪价格，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，正压氦所质谱检漏仪价格，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。
按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。
其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的准确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
氦质谱检漏仪的工作原理是什么？
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。
在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，氦所质谱检漏仪价格，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。
质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。
其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪。
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