氦质谱检漏仪的功能
氦质谱检漏仪，在电力行业的作用，SF6高压开关和氧化锌避雷器是发电厂及野外输变电的重要组成部分，往往因泄漏造成大面积或局部停电，影响工业生产，又妨碍人们的正常生活。因此带来的经济损失有时是难以估量的。高压开关在连箱是铝铸件，往往容易有砂眼，且漏孔结构复杂，不易清洗。一般采用检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，然后向罩内充入氦气，等待一定时间，确定总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。
氦质谱检漏仪示踪气体选择
对示踪气体的要求：氦质谱检漏仪都用氦气(He)作为示踪气体，也有用氢气(H2)作为示踪气体的质谱检漏仪器。
氢和氦都是比较理想的示踪气体：空气中的含量少，正压质谱检漏真空系统公司，质量轻，运动速度快，同等条件下，直线运动距离长。实际使用中，也相对比较容易获取，正压质谱检漏真空系统公司，可以大量使用。但氢气在使用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气。质谱检漏仪器示踪气体一般具有以下特点：
1、无害，不能对人体或环境造成伤害。
2、质量轻，惰性气体，能穿透微小细缝。
3、化学性质稳定，不会起化学反应。
4、Z好是只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。
氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。
1、检漏阀：接在质谱室和被检件之间的管道上。有些氦质谱检漏仪采用节流阀，质谱检漏真空系统公司，控制流入质谱室的气体流量。
2、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
3、标准漏孔：一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型)，用它来校准氦质谱检漏仪的Z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。
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